Una dintre cele mai eficiente și utilizate pe scară largă metode pentru a obține condiții de vid înalt este prin intermediul unui sistem de pompare cu vid prin difuzie. În calitate de furnizor experimentat de sisteme de pompare a vidului, sunt încântat să vă împărtășesc dezavantajele modului în care funcționează un astfel de sistem.
Elementele de bază ale pompei cu vid și difuzie înaltă
Vidul înalt este definit în general ca un interval de presiune între (10^{-3}) și (10^{-7}) torr. Atingerea unor astfel de presiuni scăzute este esențială în diverse industrii, cum ar fi producția de semiconductori, acoperirea suprafețelor și cercetarea acceleratoarelor de particule. Un sistem de pompare cu vid prin difuzie joacă un rol vital în atingerea acestor niveluri extreme de vid.
Principiul din spatele unei pompe de difuzie se bazează pe fenomenul de difuzie a gazului. Difuzia are loc atunci când moleculele de gaz se deplasează dintr-o zonă de concentrație mai mare într-o zonă de concentrație mai mică. Într-o pompă de difuzie, un jet de vapori de mare viteză este utilizat pentru a crea o regiune cu concentrație mai mică de gaz, care apoi face ca gazul din camera de vid să difuzeze în această regiune.
Componentele unui sistem de pompare cu vid prin difuzie
- Pompa de difuzie:
Miezul sistemului este pompa de difuzie în sine. Este format dintr-un cazan, un ansamblu cu jet și un condensator. Cazanul încălzește un ulei special (de obicei un ulei pe bază de silicon) la o temperatură ridicată, de obicei în jurul valorii de (200 - 300^{\circ}C). Pe măsură ce uleiul se vaporizează, acesta se ridică prin ansamblul jetului. Jeturile sunt proiectate astfel încât să direcționeze vaporii de mare viteză în jos, într-o formă conică.
Când moleculele de gaz din camera de vid intră în contact cu jetul de vapori de mare viteză, ele sunt antrenate de vapori și sunt transportate spre pereții pompei. Odată aproape de pereți, vaporii sunt condensați înapoi într-un lichid de către condensator, care este răcit cu apă sau alt lichid de răcire. Uleiul condensat curge apoi înapoi în cazan pentru a fi reîncălzit și reciclat, în timp ce moleculele de gaz prinse sunt îndepărtate din partea inferioară a pompei. - Pompă de sprijin:
O pompă de difuzie singură nu poate începe pomparea de la presiunea atmosferică. Este nevoie de o pompă de rezervă pentru a pre - evacua sistemul la o presiune suficient de scăzută (de obicei în jurul (10^{-2}) torr). Pompa de suport este de obicei o pompă mecanică, cum ar fi o pompă rotativă cu palete sau o pompă cu rădăcini. Pompa de suport elimină cea mai mare parte a gazului din camera de vid, creând o condiție de pornire potrivită pentru ca pompa de difuzie să preia și să atingă niveluri de vid mai ridicate. - Camera de vid:
Aceasta este zona în care este necesar mediul cu vid înalt. Poate fi realizat din diverse materiale, precum oțel inoxidabil sau sticlă, în funcție de aplicație. Camera de vid este conectată la pompa de difuzie și la pompa de suport prin conducte și supape.
Procesul de pompare
- Evacuare inițială:
Procesul începe cu pompa de suport. Când sistemul este pornit, pompa de suport începe să elimine gazul din camera de vid. Funcționează la un debit relativ mare și poate reduce rapid presiunea de la presiunea atmosferică până la presiunea de funcționare a pompei de difuzie. Această etapă inițială este crucială deoarece pregătește sistemul pentru pomparea mai precisă și mai eficientă a pompei de difuzie. - Activarea pompei de difuzie:
Odată ce pompa de suport a atins presiunea pre-vid necesară, pompa de difuzie este activată. Cazanul din pompa de difuzie incepe sa incalzeasca uleiul si se formeaza jeturile de vapori. Pe măsură ce moleculele de gaz din camera de vid difuzează în jeturile de vapori, acestea sunt transportate în jos și îndepărtate din sistem.
Pompa de difuzie funcționează pe baza transferului de impuls între moleculele de vapori și moleculele de gaz. Moleculele de vapori de mare viteză se ciocnesc cu moleculele de gaz, dându-le un impuls descendent. Acest lucru pompează eficient gazul din camera de vid și menține un mediu de vid înalt. - Menținerea vidului:
Pentru a menține condițiile de vid înalt, atât pompa de difuzie, cât și pompa de suport trebuie să funcționeze continuu. Pompa de suport continuă să elimine gazul care este pompat de pompa de difuzie, împiedicându-l să intre din nou în camera de vid. Condensatorul din pompa de difuzie trebuie, de asemenea, să-și mențină funcția de răcire pentru a asigura condensarea corespunzătoare a vaporilor de ulei.
Avantajele sistemelor de pompare cu vid prin difuzie
- Viteză mare de pompare:
Pompele de difuzie pot atinge viteze de pompare foarte mari, în special în domeniul de vid înalt. Acest lucru le face potrivite pentru aplicații în care volume mari de gaz trebuie îndepărtate rapid, cum ar fi în fabricarea de plachete semiconductoare la scară largă. - Capacitate de presiune scăzută:
Sunt capabili să atingă presiuni extrem de scăzute, până la intervalul (10^{-7}) torr. Acest lucru este esențial pentru aplicațiile care necesită un mediu de vid cu puritate ridicată, cum ar fi procesele de depunere a filmului subțire. - Fiabilitate:
Pompele de difuzie au un design relativ simplu, cu puține părți mobile (excluzând pompa de suport). Acest lucru le face fiabile și necesită mai puțină întreținere în comparație cu alte tipuri de pompe de vid.
Ofertele noastre de produse
În calitate de furnizor de sisteme de pompare cu vid, oferim o gamă de produse de înaltă calitate care încorporează tehnologia de pompare prin difuzie. De exemplu, al nostruFTVS - 300 1000 M3/h Sistem de evacuare în vid cu transformatoreste conceput pentru a asigura o evacuare eficientă în vid pentru transformatoare. Poate atinge rapid nivelurile de vid necesare, asigurând calitatea și performanța transformatoarelor.
Un alt produs, celFTVS - 600 2000 M3/h Mașină de pompare în vid cu transformator complet închis, oferă o soluție mai închisă și mai puternică pentru aspirarea transformatorului. Este echipat cu tehnologie avansată de pompare prin difuzie pentru a realiza condiții de vid înalt cu eficiență ridicată.
Avem șiSet pompe de vid cu o singură treaptă VPS, care este o opțiune versatilă pentru diverse aplicații de vid. Poate fi utilizat în combinație cu o pompă de difuzie pentru a oferi o soluție completă de pompare a vidului.
Contactați-ne pentru nevoile dvs. de pompare cu vid
Dacă sunteți în căutarea unui sistem de pompare cu vid de înaltă calitate, ne-ar plăcea să aflăm de la dvs. Echipa noastră de experți vă poate oferi informații detaliate despre produsele noastre, vă poate ajuta să alegeți sistemul potrivit pentru aplicația dvs. specifică și vă poate oferi suport tehnic pe tot parcursul procesului de achiziție. Contactați-ne pentru a începe o discuție despre cerințele dvs. de pompare cu vid și pentru a explora modul în care produsele noastre vă pot satisface nevoile.
Referințe
- Lafferty, JM (1998). Bazele științei și tehnologiei vidului. Wiley - Interștiință.
- O'Hanlon, JF (2003). Un ghid al utilizatorului pentru tehnologia vacuumului. Wiley - Interștiință.
